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    1. 首頁
      2. 
  
    2. 產(chǎn)品中心
      3. 
  
    3. 半導(dǎo)體微電子
      4. 
  
    4. 半導(dǎo)體微電子系統(tǒng)及部件
      5. 

    

    

    


 


    

 
    
  
 超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái) | 
 
 音圈電機(jī)/直線電機(jī)/運(yùn)動(dòng)模組 | 
 
 線性平移臺(tái) | 
 
 Air Bearing系統(tǒng) | 
 
 解決方案 | 
  
 
    
 
 
    
 
    
 
  
  
 
  
    
  
    
  
    PI 六軸小型六足位移臺(tái)
    

    
	快速、緊湊、高精度 

    

    
	
    
     

    
 行程達(dá)±17 毫米 / ±21度
    
     負(fù)載容量達(dá)5 公斤
    
     重復(fù)精度達(dá)±0.06 微米
    
     速度達(dá)20 毫米/秒
    
     超長(zhǎng)使用壽命
    
     

    
	 可提供真空兼容版本 

    

    
	
    
    

    

    
	****更多規(guī)格請(qǐng)咨詢頻標(biāo)科技****
    
     

    

    

    
 導(dǎo)出PDF 
  
    
  
    
  
  
    
  
  
    參考級(jí)六軸定位系統(tǒng)
    
六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)使其比串聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)更加緊湊、更具剛性，動(dòng)態(tài)范圍更大，無移動(dòng)電纜：更穩(wěn)定、摩擦更小
    
真空兼容型可達(dá)10-6百帕
    
無刷直流電機(jī)(BLDC)
    
無刷直流電機(jī)尤其適合高旋轉(zhuǎn)速度。能夠精確對(duì)其進(jìn)行控制并確保高精度。由于無滑動(dòng)接觸，可無磨損地平穩(wěn)運(yùn)行，
    
因此能夠?qū)崿F(xiàn)較長(zhǎng)的使用壽命。
    
應(yīng)用領(lǐng)域
    

    
	科研和工業(yè)，標(biāo)準(zhǔn)和真空環(huán)境。用于微制造、醫(yī)藥技術(shù)、刀具檢查。 

    

    
	
    
     

    

    
	****更多規(guī)格請(qǐng)咨詢頻標(biāo)科技**** 

    

    
	
    
     

    
  
 
    
 

    


    

    


    

    


    

    




    

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