該系列產品包含堆疊式XYZ Stage、堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）
| 類別 | 描述 |
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堆疊式XYZ Stage |
平臺特性
平臺概要 堆疊式XYZ 系統(tǒng)，采用模塊化、薄尺寸、正交性設計等理念，將MZ-10Stage 標準模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的直線運動。其中，MZ-10 Stage 標準模組采用了磁浮重力補償技術，具有降低垂向電機的載荷，提高了垂向運動性能和壽命的功能。可實現(xiàn)上下方向定位的升降。十字平臺Cross XY Stage模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的直線運動�？蓱糜诰A生產控制應用，例如薄膜計量、晶圓劃線和晶圓激光退火等。 |
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堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage） |
平臺特性
平臺概要 堆疊式XYZ 臺采用模塊化、薄設計、正交性設計等理念，將MZT-24-CRGStage 標準模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的直線運動。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋轉運動平臺和垂向運動的在軸向進行耦合的設計，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的無限制旋轉。十字平臺Cross XY Stage 模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的直線運動�？蓱糜诰A生產控制應用，例如薄膜計量、晶圓劃線和晶圓激光退火等。 |
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堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage） |
平臺特性
平臺概要 堆疊式XYZ3T 臺采用模塊化、薄設計、正交性設計等的理念，將MZ3T標準模組集成在XYY 堆疊式水平運動模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 軸6 自由度的運動。其中MZ3T 標準模組采用緊湊設計技術，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 軸，具有擁有良好的定位精度、平面度、直線度、剛性和重復性精度的功能。垂向采用了磁浮重力補償技術，降低了垂向音圈電機的載荷，提高了垂向運動性能和壽命。XYY 堆疊式水平運動模組采用集成式、正交性設計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的直線運動。可應用于晶圓生產控制應用，例如薄膜計量、晶圓劃線和晶圓激光退火等。適用于大型面板/基體上的倒晶封裝。 |
