STACIS® III是一種靈活的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS采用先慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電致動(dòng)器，通過(guò)連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng)，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來(lái)過(guò)濾地面運(yùn)動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。
STACIS最初設(shè)計(jì)用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中敏感儀器的行業(yè)解決方案。
STACIS III包括一個(gè)改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款控制系統(tǒng)在前后面板上采用了雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例，適用于對(duì)振動(dòng)敏感的儀器。
STACIS比空氣隔振器硬，沒有空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒有“軟”懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在好的狀態(tài)下運(yùn)行。
串行設(shè)計(jì)和高力壓電技術(shù)
可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90％的主動(dòng)隔振性能。
使用VC-C（500μ英寸/秒，12.5μ米/秒RMS）的模擬振動(dòng)來(lái)測(cè)試4500磅（2045千克）有效載荷
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主動(dòng)自由度 |
6 |
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主動(dòng)帶寬 |
0.6 Hz - 150 Hz |
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被動(dòng)固有頻率 |
18 Hz垂直和水平 |
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有效的主動(dòng)共振頻率 |
0.5 Hz |
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1 Hz時(shí)的隔振 |
40% - 70% |
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≥2 Hz時(shí)的隔振 |
≥90% |
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10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間（減少10:1） |
0.3秒 |
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內(nèi)部噪音 |
<0.1 nm RMSd> |
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每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍 |
低承重能力：400
- 1100磅（182 -
500千克） |
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剛度（1000磅/ 454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） |
40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
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從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng) |
<0.02 μG broadband RMSd> |
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環(huán)境和安全 |
符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
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主動(dòng)隔振元件 |
最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
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被動(dòng)隔振元件 |
單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
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振動(dòng)傳感器元件 |
向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓 |
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主動(dòng)反饋控制回路 |
在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和衰減地面振動(dòng) |
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隔振器尺寸（寬x深x高） |
11.75
x 12.5 x 10.8英寸 |
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隔振器重量 |
75磅（34千克） |
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工作溫度 |
50° -
90° F |
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儲(chǔ)存溫度 |
-40°
- 130° F |
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濕度 |
80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
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系統(tǒng)電源要求 |
100、120、230、240 VAC |
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地面位移 |
<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
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每個(gè)系統(tǒng)的隔振器數(shù)量 |
至少3個(gè) |
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可選附件 |
層壓不銹鋼平臺(tái)、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩 |
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尺寸（寬x深x高） |
19 x
8.5 x 1.75英寸 |
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重量 |
6.3磅（2.9千克） |
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處理器 |
150/75 MHz雙核 |
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采樣率 |
10 kHz |
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模擬輸出 |
16個(gè)通道 |
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模擬輸入 |
16個(gè)通道 |
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狀態(tài)燈 |
單個(gè)LED |
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前面板端口 |
1個(gè)串行USB 2.0 |
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后面板端口 |
1個(gè)串行USB 2.0 |
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用戶界面 |
前面板液晶顯示屏 |
https://www.techmfg.cn/products/stacis/stacisiii
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