SEM-Base® VI是主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計用于支撐商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有不錯的隔振性能、控制器和圖形用戶界面（GUI）。
SEM-Base VI采用“串行結(jié)構(gòu)”，其中的振動傳感器測量地面振動，而不是有效載荷振動�？梢宰層行лd荷共振不會限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器，結(jié)合壓電致動器技術(shù)，SEM-Base VI在安靜的地面上也能實現(xiàn)良好的消振水平。
TMC的控制器DC-2020采用了雙核處理器，有簡單易用的圖形界面，可完成系統(tǒng)評估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI，無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外，用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動的液晶顯示器（LCD）與控制器連接。
硬安裝技術(shù)- SEM-Base VI與內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。
主動慣性振動消除- SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能振動衰減。
采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計- 串行設(shè)計和高力壓電技術(shù)可實現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90％的慣性主動振動消除性能。
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主動自由度 |
6 |
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主動帶寬 |
0.6 Hz - 100 Hz |
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被動固有頻率 |
標(biāo)稱值為12 Hz |
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有效的主動共振頻率 |
0.5 Hz |
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1 Hz時的隔振 |
40% - 70% |
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2 Hz時的隔振 |
90% |
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≥3 Hz時的隔振 |
90 - 98% |
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內(nèi)部噪音 |
<0.1 nm RMSd> |
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工作負(fù)載范圍 |
標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900
- 2,500磅（408 -
1134千克） |
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磁場發(fā)射 |
<0.02 μG broadband RMSd> |
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環(huán)境和安全 |
符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn) |
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主動隔振元件 |
最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷 |
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被動隔振元件 |
單個硬彈性體（無需壓縮空氣源） |
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振動傳感器元件 |
向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于 |
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主動反饋控制回路 |
在支撐隔振表面的彈簧 |
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尺寸（寬x深） |
35.25
x 44.25英寸 |
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高度 |
標(biāo)稱6.3英寸（160毫米）， |
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工作溫度 |
50° -
90° F |
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儲存溫度 |
-40°
- 130° F |
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濕度 |
80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C |
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系統(tǒng)電源要求 |
100、120、230、240 VAC |
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地面位移 |
<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd> |
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處理器 |
150/75 MHz雙核 |
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采樣率 |
10 kHz |
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模擬輸出 |
16個通道 |
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模擬輸入 |
16個通道 |
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狀態(tài)燈 |
單個LED |
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前面板端口 |
1個串行USB 2.0 |
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用戶界面 |
前面板液晶顯示屏 |
使用VC-C（500μ英寸/秒，12.5μ米/秒RMS）的模擬振動來測試1800磅（818千克）有效載荷
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