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  • 超精密運動臺 | 音圈電機/直線電機/運動模組 | 線性平移臺 | Air Bearing系統(tǒng) | 解決方案 |

    半導體設備方案

    多軸精密氣浮運動臺用于精密測量,它是集制造、自動控制、電子、光學、圖形圖像及計算機技術為一體的綜合性交叉學科,與精密加工緊密聯(lián)系在一起。二次元影像測量儀適用于工件二維平面檢測,三坐標測量機主要用于被測工件的三維立體的測量。由于空間測量時三坐標測量機應用受限,我司研發(fā)制造的多軸精密氣浮運動平臺用于精密測量系統(tǒng)中。

    導出PDF
    結(jié)構(gòu)闡述
    一維軸采用閉式氣浮導軌導向,垂直采用真空預載,直線電機驅(qū)動和光柵尺閉環(huán)反饋,二維軸采用龍門氣浮導軌導向,雙直線電機驅(qū)動和雙光柵尺閉環(huán)反饋。


    線纜管理
    線纜管理對精度和性能有影響,選擇進口無塵線纜,優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能,減少停機時間。無塵線纜相對于普通的坦克鏈,更適用于無塵潔凈室。


    密封罩設計
    龍門軸密封罩設計,帶自清掃功能(設計不影響精度性能),防止異物進入氣浮導軌內(nèi)部。防止誤操作出現(xiàn)人為傷害。

    大理石基座設計
    采用濟南大理石做龍門基座及橋架,第七階(前六階為剛體模態(tài),第七階為柔性模態(tài))模態(tài)為300Hz,想要在此基礎上進行改進,提高模態(tài),則模態(tài)變?yōu)?07Hz。


    氣浮隔振臺
    考慮到振動對性能的影響,建議加氣浮隔振。

    控制方案
    在精密運動控制行業(yè)性能及精度有保證,可根據(jù)用戶的使用習慣配置控制方案。